中文摘要：

本项目研究的微型光开关利用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作，采用创新性的残余应力自翘起微梁致动器以及SU-8垂直微镜。氮化硅和多晶硅复合梁因残余应力自动弯曲翘起，使竖于其上的垂直微镜离开光路；在微梁与基底间施加电压，微梁被吸下，光开光切换到反映状态；撤去电压，弹性力使微梁回到初始位置。曲梁驱动器从原理上保证了实现低电压的大位移驱动。光纤定位槽与微镜用同一光刻版一次光刻制出，保证了光纤与微镜的对准精度。研制了2?单镜光开关、2?阵列光开关和1?阵列光开关三种样机。该开关有自组装、自校准、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列、工艺简单等优点，为我国MEMS光开关走向应用奠定了基础。

结论摘要：

本项目研究的微型光开关利用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作，采用创新性的残余应力自翘起微梁致动器以及SU-8垂直微镜。氮化硅和多晶硅复合梁因残余应力自动弯曲翘起，使竖于其上的垂直微镜离开光路；在微梁与基底间施加电压，微梁被吸下，光开关切换到反射状态；撤去电压，弹性力使微梁回到初始位置。曲梁驱动器从原理上保证了实现低电压的大位移驱动。光纤定位槽与微镜用同一光刻版一次光刻制出，保证了光纤与微镜的对准精度。研制出了2×2单镜光开关、2×2阵列光开关和1×4阵列光开关三种样机。该光开关有自组装、自校准、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列、工艺简单等优点，为我国MEMS光开关本项目研究的微型光开关利用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作，采用创新性的残余应力走向应用奠定了基础。