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低能铜团簇束在Si上成膜铜在硅中
  • 所属机构名称：兰州大学
  • 会议名称：国内，口头报告，第一届全国核技术及应用研究学术研讨会，2006.9.24-27,上海，中国
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
作者： 曹博，李公平*，盖志刚,何山虎，
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铜团簇束与硅作用成膜铜在硅中的扩散效应
期刊论文 22 会议论文 4
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