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Optimization of machining parameters and fabrication of nanostructures using afm anodic oxidation
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007
  • 成果类型:会议
  • 会场:Sanya, Hainan, China
  • 相关项目:基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究
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