Optimization of machining parameters and fabrication of nanostructures using afm anodic oxidation
- 所属机构名称:哈尔滨工业大学
- 会议名称:International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007
- 成果类型:会议
- 会场:Sanya, Hainan, China
- 相关项目:基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究