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Investigation of E and H mode in cylindrical inductively coupled plasmas by spatially-resolved optic
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science fo
  • 成果类型：会议
  • 会场：Cairns, Australia
  • 相关项目：脉冲等离子体在高分子材料处理中的作用、机制及应用
作者： Yu Chen|Zhi-Gang Guo|Yi-Kang Pu|
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