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Spatially-resolved oes measurement of inductively-coupled plasmas in E and H modes
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：Plasma Science, 2006. ICOPS 2006. IEEE Conference Record - Abstracts. The 33rd IEEE International Co
  • 成果类型：会议
  • 会场：Traverse City, Michigan, U.S.A
  • 相关项目：脉冲等离子体在高分子材料处理中的作用、机制及应用
作者： Zhi-Gang Guo|Yu Chen|Yi-Kang Pu|
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