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Numerical analysis of impact of imprinting pressure on profile shape and mold deformation in UV-NIL
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微复型过程中聚合物流动填充机理的可视化实验分析
作者： Jun Du| Zhengying Wei|Wei He|Yiping Tang|
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