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Numerical Simulation and Experimental Study on Resist Filling Behavior in UV-nanoimprint Lithography
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：45 th CIRP Conference on Manufacturing Systems 2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微复型过程中聚合物流动填充机理的可视化实验分析
作者： J. Du|Z.Wei|Y.Tang|
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