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Microstructure of Hydrogenated Amorphous Silicon Layers Studied by Spectroscopic Ellipsometry for th
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：42nd IEEE Photovoltaic Specialists Conference
  • 时间：2015.6.15
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于异质结晶体硅太阳电池的a-SiOx:H薄膜生长和钝化机理研究
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