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Microstructure Large Scale Surface Evaluation Based on White Light Interferometry
  • 所属机构名称:中国民航大学
  • 会议名称:16th International Conference on Mechatronics Technology, ICMT 2012
  • 时间:2012
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于白光扫描干涉术的超精密表面几何参数大范围快速测量方法
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