中文摘要：

超精密检测技术对现代科技发展意义重大。随着超精密元件在结构复杂度和应用领域上的进一步发展，对测量范围与效率的需求逐渐显现，这一领域的研究势必将引起科学界与产业界的广泛关注。本项目基于白光扫描干涉术研究超精密表面几何参数的大范围快速测量新方法，并研制功能优越的光学显微干涉测试系统。通过研究双角度白光倾斜扫描干涉术的原理模型、系统标定方案及数据重建方法，实现水平方向不依赖拼接技术的毫米量级大范围测量；通过研究显微干涉条件下的调焦策略，实现垂直扫描过程中扫描速度的自适应调整。本研究针对超精密加工领域的测试需求，在实现纳米级测量分辨力的前提下，解决了大范围与高效率问题，为晶片级制造中的质量控制和超精密光学表面评价提供了重要的解决方案。