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The Research of Piezoresistive Effect in Different Temperature Based on AlGaN/GaN HEFT-micro-acceler
  • 所属机构名称：中北大学
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：氮化镓基高电子迁移率晶体管-微悬臂梁力电耦合机制及结构制造的研究
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