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多靶磁控溅射系统磁场优化设计
  • 所属机构名称：北京航空航天大学
  • 会议名称：2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：一种等离子体基离子注入/沉积新方法的基本理论和技术研究
作者： 李刘合|
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