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Tunable filter with micromachine F-P cavity on the silicon.
  • 所属机构名称：北京理工大学
  • 会议名称：SPIE,Vol.4927, p.857-863
  • 作者或编辑：3448
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
作者： Ou Yi|Cui Fang|Sun Yu-nan.|
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