微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究

项目名称：微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
项目类别：面上项目
批准号：60177009
申请代码：F050202
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2002-01-01-2004-12-01

项目负责人：孙雨南
负责人职称：教授
依托单位：北京理工大学
批准年度：2001

中文摘要：

以硅衬底上微光机电法布里——珀罗电光调制器为研究目标，开展相关微光机电技术基础研究，包括性能分析、结构优化、设计方法、平面微加工技术与封装技术等。该器件特点是体积小、重量轻、成本低，在未来无源光网络中极具应用前景。以此技术为基础，可进一步研发多种光通信器件，并开展国内微光机电技术在信息领域中的应用。

中文主题词：硅微光机电系统（MOEMS）；法布里－珀罗(FP)腔；可变光衰减器；可调谐光滤波器；电热驱动微反射镜阵列

结论摘要：

英文主题词Si-Micro-optical-electronic-mechanical; Fabry-Perot Cavity; Variable Optical Attenuator; Optical Tunable Filter; electro-thermally actuated MMA

成果综合统计