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Electron cyclotron resonance plasma assisted pulsed laser deposition of carbon nitride thin films
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 会议名称：Second International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：复旦大学
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：纳米GaN嵌镶薄膜的光发射和光学非线性
作者： 施维|吴嘉达|孙剑等|
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