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The Thermal Analysis and Simulation of On-chip Temperature Control Technology in the Micro-gyroscope
  • 所属机构名称:东南大学
  • 会议名称:4th international conference on machinery ,materials science and engineering applications(MMSE2014)
  • 时间:2014.6.28
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于芯片级温控的硅微陀螺仪温度误差校正理论与试验研究
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