欢迎您！
东篱公司
退出
申报数据库
申报指南
立项数据库
成果数据库
期刊论文
会议论文
著 作
专 利
项目获奖数据库
位置：
成果数据库
>
会议
> 会议详情页
Iterative Learning Control for Synchronization of Reticle Stage and Wafer Stage in Step-and-Scan Lit
所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
会议名称：5th International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging
时间：2013
成果类型：会议
相关项目：步进扫描工件台同步运动控制策略及方法研究
作者：
LI Lan-lan|HU Song|ZHAO Li-xin|MA Ping|
同会议论文项目
步进扫描工件台同步运动控制策略及方法研究
期刊论文 5
会议论文 4
专利 9
同项目会议论文
Study on Control Strategy for Coarse/Fine Dual-stage of Step & Scan Lithography
Synchronous control strategy of wafer and reticle stage of step and scan lithography
Research of communication mechanism based USB in wafer stage of lithography
位置：
同会议论文项目
