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Study on Control Strategy for Coarse/Fine Dual-stage of Step & Scan Lithography
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies
  • 时间：2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：步进扫描工件台同步运动控制策略及方法研究
作者： Liu, Qi|Ping Ma|Song Hu|Lanlan Li|Jiangping Zhu|Zhuang Sheng|
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