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多层纳米膜隧穿陀螺的设计、加工和初步测试
  • 所属机构名称:中北大学
  • 会议名称:IEEE SENSORS 2009 Conference
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:高灵敏度多层纳米膜遂穿微陀螺仪研究
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