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中文摘要：
多层纳米膜隧穿器件是一种基于量子隧穿效应的新型器件，其具有的介观压阻灵敏度比硅压阻灵敏度高一个数量级。同时，采用非掺杂分子束外延工艺的薄膜器件具有温度漂移小的优点。本项目采用电磁驱动方式，同静电梳齿驱动方式相比具有结构简单、驱动力大及驱动位移大等优点，将电磁驱动方式和多层纳米薄膜器件应用于陀螺的研究是一项高新探索项目。设计了具有回折型正交梁陀螺结构，对该结构进行了模态分析和静力分析，分别确定了结构的固有频率和多层纳米膜器件的加工位置。同时，针对陀螺所设计的驱动电路和检测电路进行了设计与调试，并对纳米膜隧穿陀螺进行了工艺流片与测试试验，测试结果验证了该方案是可行的。
结论摘要：
英文主题词resonant tunneling piezoresistive effect; tunneling gyroscope; undoped double barrier films materials
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