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Determination of the mechanical properties of microstructures
  • 所属机构名称:清华大学
  • 会议名称:Int. Conf. on Solid-state Sensors and Actuators, and Eurosensors IX (Transducer'95), Stockholm. .
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者单位:清华大学
  • 语言:英文
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:微型构件机械物理性能研究
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