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Measurement of Young’s Modulus and Residual Stress of Micromembranes,
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：Micromembranes, 7th International Symposium on Micro Machine and Human Science (MHS 96), Nagoya, pp
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：清华大学
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微型构件机械物理性能研究
作者： X.Y.Ye|.H.Zhang|Z.Y.Zhou and Y.Yang|
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