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平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理
  • 所属机构名称：上海交通大学
  • 会议名称：国内，口头报告，中国微米/纳米第八届学术年会，2006年9月21－23日，南京
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 杨昊宇，赵小林，戴旭涵，邵国成
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