位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
一种用于测试坡莫合金薄膜机械性
  • 所属机构名称：上海交通大学
  • 会议名称：国内，口头报告，中国微米/纳米第八届学术年会，2006年9月21－23日，南京
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
同会议论文项目
移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
期刊论文 24 会议论文 5
同项目会议论文
Design and analysis of the mic
用于MEMS叠层光刻胶牺牲层技术
平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理
Mechanical Properties Of Mono-