位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Comparison of Ru/Ta and Ru/TaN
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：原子层淀积新型Cu互连扩散阻挡层研究
作者： 屈新萍，谭晶晶等
同会议论文项目
原子层淀积新型Cu互连扩散阻挡层研究
期刊论文 10 会议论文 7
同项目会议论文
Investigation of Ru/TaN on low
Comparison of the copper diffu
Cu Contact on NiSi Substrate w
Tungsten carbides as a diffusi
ALD Growth of Ru on RIE-pretre
Ta/TaN作为Cu和NiSi接触的阻挡层