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不同调制比对ZrN/TaN多层膜耐氦损伤性能的影响
  • 所属机构名称:四川大学
  • 会议名称:四川省核学会核聚变与低温等离子体应用专业委员会、核物理与加速器专业委员会2014年度学术交流会
  • 时间:2014.10.16
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:铜互连用界面扩散阻挡层的材料设计及其服役效能的研究
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