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等离子体增强化学气相沉积制备硅基酞氰锌复合膜
所属机构名称:中国科学院半导体研究所
会议名称:23rd EU-PVSEC
成果类型:会议
相关项目:纳米硅薄膜太阳能电池的研究
作者:
X.B. Zeng, C.S.Zhang , F.Z. Liu, M.J.Shi, W.B.Peng|
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