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On-machine Profile Measurement by Multiple Sensors Scanning Method with Two Kinds of Algorithms
  • 所属机构名称：上海交通大学
  • 会议名称：The 10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：超精密形状误差测量中的误差分离技术研究
作者： Ding Guoqing|Chen Xin|Takahashi Satoru|Takamasu Kiyoshi|
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