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光辅助MOCVD法制备高质量ZnO薄膜
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
  • 时间:2012.11.7
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:InN基窄带隙半导体材料的加压MOVPE生长与物性研究
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