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多晶硅冷却过程中入口流速及隔热底板运动对硅锭内热应力影响
  • 所属机构名称：华中科技大学
  • 会议名称：2013工程热物理传热传质年会
  • 时间：2013.10
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：提拉法生长大尺度蓝宝石单晶过程的数值模拟和晶体缺陷控制
作者： 王森|张全江|田俊|方海生|
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