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Numerical study and optimization of GaN thin-film growth by MOCVD method
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:Proceedings of the ASME 2013 Summer Heat Transfer Conference (HT2013)
  • 时间:2013.8.1
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:提拉法生长大尺度蓝宝石单晶过程的数值模拟和晶体缺陷控制
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