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Modeling of V-Shape Thermal In-Plane Microactuator Using Chained Beam-Constraint-Model
  • 所属机构名称:西安电子科技大学
  • 会议名称:International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO 20
  • 时间:2014.10.27
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:柔性铰链机构参数设计的通用模型方法(GMA)研究
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