Modeling of V-Shape Thermal In-Plane Microactuator Using Chained Beam-Constraint-Model
- 所属机构名称:西安电子科技大学
- 会议名称:International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO 20
- 时间:2014.10.27
- 成果类型:会议
- 相关项目:柔性铰链机构参数设计的通用模型方法(GMA)研究