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New Nanofabrication through Rapid High Temperature Annealings
  • 所属机构名称：南京大学
  • 会议名称：11th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology Proceedings (ICSICT)
  • 时间：2012.10.10
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：氢热处理对硅单晶纳米结构形貌控制特征研究
作者： Gang Wang|Yi Shi|Yi Zhao|
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