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Analysis of film thickness for magnetron sputtering system with more than one workbench
  • 所属机构名称:电子科技大学
  • 会议名称:2009 International Conference on Optical Instruments and Technology, OIT 2009
  • 成果类型:会议
  • 会场:Shanghai, China
  • 相关项目:信息薄膜与LTCC集成器件
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