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Deformation Analysis of MEMS using High Density Grating Measurement Techniques
  • 所属机构名称:天津大学
  • 会议名称:第三届二十一世纪的实验力学学科发展——海峡两岸实验力学研讨会
  • 成果类型:会议
  • 会场:中国内蒙古呼和浩特
  • 相关项目:微纳尺度实验力学中的传感、测量、识别新方法研究
作者: 谢惠民|
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