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Design and Kinematics Analysis of a 3-DOF Precision Positioning Stage
  • 所属机构名称：天津大学
  • 会议名称：IEEE International Conference on Mechatronics and Automation
  • 成果类型：会议
  • 会场：Changchum, PEOPLES R CHINA
  • 相关项目：纳米级微定位系统热误差辨识与补偿关键技术研究
作者： Zhang, Dawei|Jia, Xiaohui|Tian, Yanling|
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