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A bi-material microcantilever temperature sensor based on optical readout
  • ISSN号:0263-2241
  • 期刊名称:Measurement
  • 时间:2012.8.8
  • 页码:1801-1806
  • 相关项目:30微米像素光学读出非制冷红外焦平面基础问题研究
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