位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
光干涉法测量微机械零件变形的研究
  • ISSN号：1003-501X
  • 期刊名称：《光电工程》
  • 时间：0
  • 分类：TH161[机械工程—机械制造及自动化] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构：四川大学激光应用技术研究所，四川成都610065
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(59575080)
作者： 田云辉, 王世华, 等
关键词： 光干涉法, 变形测量, 微加速度计, 机械零部件
中文摘要：

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被测件之间形成的空气楔中，被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉，由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换（FFT）图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图。该方法可对微小器件的微位移作分辨办为10nm的测量，并直观的显示测量结果。

同期刊论文项目
精密测量用光电传感器集成化研究
期刊论文 1
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《光电工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院光电技术研究所 中国光学学会
  • 主编：罗先刚
  • 地址：四川省成都市双流350信箱
  • 邮编：610209
  • 邮箱：oee@ioe.ac.cn
  • 电话：028-85100579
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-501X
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1346/O4
  • 邮发代号:62-296
  • 获奖情况:
  • 四川省第二次期刊质量考评自然科学期刊学术类质量...,四川省第二届优秀期刊评选科技类期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:14003