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结构简单的熔接式全石英光纤EFPI高静压传感器
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:《中国激光》
  • 时间:0
  • 分类:TP212.14[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁大连116024
  • 相关基金:国家自然科学基金(61137005,11474043)、中央高校基本科研业务费专项资金(DUT16TD17)
中文摘要:

介绍了一种结构简单的熔接式全石英光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪(EFPI)高静压传感器,对传感器的压力效应进行了理论分析,给出了传感器的设计结构和制作过程。和传统EFPI传感器相比,该传感器具有长腔长、结构简单、制作工艺简易、应用灵活方便等优点,可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调系统,对压力进行了测试,测量精确度高,稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验,温度敏感系数约为0.72nm/℃,传感器的腔长温度线性度好,结果显示传感器温度交叉敏感度低。在0~20MPa压力测量范围内,该传感器的压力腔长灵敏度可以达到21nm/MPa,连续10h动态测量条件下,测量偏差为0.2%FS。

英文摘要:

All-silica fiber extrinsic Fabry-Perot interferometer (EFPI) high static pressure sensor in fusion with simple structure is introduced. The pressure effect of the sensor is theoretically analyzed, and the design structure and manufacturing process of the sensor are given. The sensor has some advantages such as long cavity length, simple structure, simple manufacturing process, convenience and flexibility in application comparing with traditional EFPI sensor, while it can be used in the measurement of higher static pressure. Sensing demodulation system is set up to conduct a pressure test. The results show that the system has high measuring precision and good stability. Meanwhile ,the temperature sensitivity measuring experiment is conducted. Temperature sensibility coefficient is about 0.72 nm/℃ and the cavity length-temperature has good linearity. The results show that the sensor has a low temperature crossing sensitivity. In specific pressure of 0~20 MPa, pressure cavity length sensitivity of the sensor can reach 21 nm/MPa. Measuring deviation is 0.2%FS with continuous dynamic measurement of 10 h.

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849