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Chemical Mechanical Planarization from Macro-Scale to Molecular-Scale
  • ISSN号：1042-6914
  • 期刊名称：Materials and Manufacturing Processes
  • 时间：2012
  • 页码：641-649
  • 相关项目：无亚表层损伤的水基微/纳超精密抛光的关键技术与机理
作者： Wang, Y|Zhao, Y W|Chen, X|
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