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Direct growth of high-quality Al2O3 dielectric on graphene layers by low-temperature H2O-based ALD
ISSN号:0022-3727
期刊名称:Journal of Physics D: Applied Physics
时间:2014.2.5
页码:055106/1-6
相关项目:柔性基底碳纳米管薄膜器件阈值电压非稳机理研究
作者:
Wang, Haomin|Xie, Xiaomin|Yu, Yuehui|Liu, Ran|
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