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碳含量对碳氮化硅薄膜化学结构和力学性能的影响
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，26（6）（2006）625
  • 时间：0
  • 相关项目：硼碳氮体系等电子浓度规律及其薄膜合成研究
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