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硅微构件的弹性模量和残余应力的测试
  • 期刊名称：机械工程学报
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：清华大学
  • 页码：Vol.33, No.3, pp.108～112.
  • 语言：中文
  • 相关项目：微型构件机械物理性能研究
作者： 叶雄英|杨岳|周兆英|李勇|
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