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Determination of the mechanical properties of microstructures
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A-Physical
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：清华大学
  • 页码：Vol.54, Iss 1-3, pp 750-754
  • 语言：英文
  • 相关项目：微型构件机械物理性能研究
作者： X.Y.Ye|Z.Y.Zhou|Y.Yang|J.H.Zhang and J.Yao|
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