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PECVD法硅基氮化硅薄膜的制备及其耐磨性研究
  • 期刊名称:润滑与密封
  • 时间:0
  • 页码:12-15
  • 语言:中文
  • 相关项目:承载钢丝绳的微动损伤及其疲劳断裂机理基础研究
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