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Research on the Shape Precison of the Micro-groove in the Silicon Under Diamond Fly-cutting
  • ISSN号：0255-5476
  • 期刊名称：Materials Science Forum
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：微结构功能表面的超精密超声辅助金刚石飞切机理研究
作者： Yan Yanyan|Yang Chengyun|Wang Runxing|
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微结构功能表面的超精密超声辅助金刚石飞切机理研究
期刊论文 13 获奖 4 专利 1
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