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Study on influence laws of surface roughness of micro-groove in single crystal silicon under diamond
  • ISSN号：1013-9826
  • 期刊名称：Key Engineering Materials
  • 时间：2015
  • 页码：142-148-
  • 相关项目：微结构功能表面的超精密超声辅助金刚石飞切机理研究
作者： Yanyan Yan|Runxing Wang|Bo Zhao|
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