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薄膜内杂质吸收热损伤机制的有限元分析
  • ISSN号:1002-0322
  • 期刊名称:《真空》
  • 时间:0
  • 分类:TB43[一般工业技术]
  • 作者机构:[1]武汉理工大学材料科学与工程学院,湖北武汉430070
  • 相关基金:国家自然科学基金(10804090).
中文摘要:

在介质薄膜中,薄膜中的嵌入杂质或缺陷是导致薄膜激光损伤的关键因素。为了理解球状杂质对薄膜热力学损伤的影响,以热传导方程为依据,采用有限元方法模拟了厚度为500nm的介质薄膜在激光辐射下的球状杂质吸收对薄膜的温度场分布的影响。分析了不同大小和深度的球状杂质对薄膜温度场的影响,发现大而浅的杂质对薄膜的温度场的影响较大,且薄膜在激光单脉冲作用时间内,最高温升不会出现在激光功率密度达到峰值的时刻,而是稍微滞后。

英文摘要:

The impurity defect of a dielectric single-layer optical thin film is crucial to the film's laser damage. To understand thermodynamically the influence of spheroidal impurities on the laser damage of optical thin film, FEM was used to simulate how the thermal absorption of spheroidal impurities affects the temperature field distribution in a 500nm-thick dielectric thin film under laser irradiation, based on the heat transfer equations. Analyzing the effects of different sizes and depths of spheroidal impurities on the temperature field of the film, it was found that the big and shallow impurities affect greater the temperature field and that the maximum temperature rise is impossible at the moment the power density of laser comes up to its peak value but slowed slightly when the film is irradiated by single pulse laser.

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期刊信息
  • 《真空》
  • 北大核心期刊(2008版)
  • 主管单位:
  • 主办单位:中国机械工业集团公司有限公司 沈阳真空技术研究所
  • 主编:李玉英
  • 地址:沈阳市沈河区万柳塘路2路
  • 邮编:110042
  • 邮箱:zkzk@chinajournal.net.cn
  • 电话:024-24121929
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-0322
  • 国内统一刊号:ISSN:21-1174/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 工程技术类核心期刊,中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:3452