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Vacuum-ultraviolet blazed silicon grating anisotropically etched by native-oxide mask
  • ISSN号：0146-9592
  • 期刊名称：Optics Letters
  • 时间：0
  • 页码：1147-1149
  • 语言：英文
  • 相关项目：全息离子束刻蚀同步辐射光栅微结构精密控制技术
作者： Fu, Shaojun|Hong, Yilin|Zhou, Hongjun|Huo, Tonglin|Sheng, Bin|Liu, Ying|Xu, Xiangdong|
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全息离子束刻蚀同步辐射光栅微结构精密控制技术
期刊论文 7
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