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Size-dependent pull-in instability of electrostatically actuated microbeam-based MEMS
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:0
  • 页码:1-7
  • 语言:英文
  • 相关项目:基于纳米流体技术的新一代能量提取/吸收材料的基础研究
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